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크린룸의관리

CREAN ROOM의 각실간의 필요압력차
Room 압력차
청정도 Class가 다른 Clean Room 0.5
Clean Room과 Clean복도 . 갱의실 0.5~1.0
Clean . 갱의실 등과 일반실 1.0
Clean Room과 일반실 1.5
CREAN ROOM의 CLASS별 표준적 순환풍량
청정도 환기회수(회/h)
Class 100 200~600
1,000 50~70
10,000 30~40
100,000 20~30

FILTER의 측정법의종류
중량법
(AFI)
Air Filter Institute
Dust Weight Arrest EFF.
1μm이상 제진입자에 적용
Pre Filter, 외기처리 Filter
비색법
(NBS)
National Bureau of Standard
Dust Spot Efficiency
1μm이하 제진입자에 적용
Mediun Filter
계수법
(DOP)
Diocty Phthalate
Fractional Efficiency
1μm이하 제진입자에 적용
Hepa Filter, ULPA Filter
입자발생수
움직입 없음(기립 또는 착석) 100,000
가벼운 두, 수, 팔의 움직임(착석) 500,000
몸, 팔의 보통움직임, 발끝으로 마루를 때림(착석) 1,000,000
착석에서 기립하는 동작 2,500,000
보행
3.2km/hr(느리게) 5,000,000
5.7km/hr(보통) 7,500,000
8km/hr(빠르게) 10,000,000
계단을 오르는 동작 10,000,000
도약동작 15,000,000~30,000,000
CLEAN ROOM의 CLASS별 표준적 순환풍량
Class Contamination Level/ft3 Fabric
A Less than 1,000 5Micron & Larger Particles
Maximum 10Fibers
B Less than 5,000 5Micron & Larger Particles
Maximum 25Fibers
C Less than 10,000 5Micron & Larger Particles
Maximum 50Fibers
D Less than 15,000 5Micron & Larger Particles
Maximum 50Fibers
E Less than 25,000 5Micron & Larger Particles
Maximum 175Fibers